Нравится LibRing?
Расскажи друзьям:
М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование

Обложка книги Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование

Книгу можно купить в интернет-магазинах:

· OZON.ru 186р. [Проверить наличие]
· Books.ru 238р. [Проверить наличие]
· Библион 293р. [Проверить наличие]
· My-Shop 262р. [Проверить наличие]
· My-Shop 291р. [Проверить наличие]
· SetBook 228р. [Проверить наличие]
Серия: Электроника
ISBN: 978-5-94774-336-4, 978-5-94774-337-1
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год издания: 2007
Страниц: 400
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.