Нравится LibRing?
Расскажи друзьям:
В. Киреев, А. Столяров

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Обложка книги Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Книгу можно купить в интернет-магазинах:

· OZON.ru 211р. [Проверить наличие]
· Books.ru 413р. [Проверить наличие]
· Библион 111р. [Проверить наличие]
· My-Shop 134р. [Проверить наличие]
· SetBook 114р. [Проверить наличие]
· Буквоед 254р. [В наличии]
Серия: Мир электроники
ISBN: 5-94836-039-3
Издательство: Техносфера
Год издания: 2006
Страниц: 192
Формат: 60х90/16
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям ВУЗов.