Обложка книги Кремний - материал наноэлектроники

Кремний - материал наноэлектроники

,

ISBN: 5-94836-101-2; 978-5-94836-101-7; 978-5-699-39482-1;
Серия:
Издательство: Техносфера
Страниц: 352

Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.